冷阴极皮拉尼复合真空计
INFICON反磁控管皮拉尼复合真空计,MPG400 和 MPG401,测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力(3.8 x 10-9 Torr 至大气压力)。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中,显著降低了安装、设置和集成的复杂性。
特点
复合真空计 – 冷阴极和皮拉尼
5 X 10-9 mbar 至大气压的极宽测量范围
倒磁控管没有灯丝,不会出现丝极烧毁的现象
卓越的点火属性
易清洗
FPM 或金属密封馈入装置
LED 指示器,高压时亮起
对数模拟输出信号
应用
高真空压力测量
蒸发与溅射镀膜系统
全真空范围内的一般真空测量和控制
技术规格
| 型号 密封 |
MPG400 FPM密封 |
MPG401 金属密封 |
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| 测量范围 | 5 × 10E-9至1000 mabr | ||
| 精度(N2) 10E-8至100 mbar | ≈±30%读数 |
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| 重复性 | ≈±5%读数 | ||
| 输出信号(电压) | 0至+10.5V |
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| 电源电压 功率 |
+15至+30Vdc ≤2 W |
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| 电气连接件 | FCC 68/RJ45网口,8脚屏蔽 |
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| 工作温度 | +5至+55℃ | ||
| 安装方位 | 任何 | ||
| 防护等级 | IP40 | ||
订购资料
| 型号 密封 |
MPG400 FPM密封 |
MPG401 金属密封 |
| KF25 | 351-010 | 351-020 |
| KF40 | 351-011 | 351-021 |
| CF40 | 351-012 | 351-022 |
| 型号: | MPG401, |
| 加工定制: | 否 |