进口单层Lift-off正性光刻胶 CJ2153
¥8000.00
8000
福建厦门
厦门光刻胶 美国光刻胶
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- MEMS传感器
- 悬臂梁、谐振腔金属结构(避免湿法腐蚀损伤微结构)。
- 高频器件互连
- 研发与小批量生产
与其他Lift-off胶对比
| 型号 |
结构 |
分辨率 |
工艺复杂度 |
适用场景 |
| CJ2153 |
单层 |
≤0.8μm |
★☆☆☆☆ (低) |
快速原型、中小批量 |
| LOR双层胶 |
双层 |
≤0.5μm |
★★★☆☆ (中) |
超精细图形(<0.5μm) |
| PMMA电子束胶 |
单层 |
≤10nm |
★★★★☆ (高) |
纳米器件(需电子束曝光) |
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