• 光敏范围‌：365-400nm近紫外光，吸光度低（约46%），适合高深宽比结构‌
• ‌厚度能力‌：单次旋涂可达几百微米，多次旋涂可扩展至毫米级‌
• ‌分辨率‌：支持亚微米级图形（具体数值未明确，但SU-8系列普遍可达0.5μm）‌
• ‌机械性能‌：高交联密度，抗化学腐蚀性强，热稳定性优异（耐温达200°C）‌

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• ‌垂直侧壁‌：曝光均匀性确保图形侧壁接近90°垂直度‌
• ‌非导电性‌：可直接作为电镀绝缘层使用‌
• ‌显影兼容性‌：支持MicroChem专用显影剂或乳酸乙酯等溶剂，显影时间需根据搅拌强度调整‌

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