进口SPR220系列SPR220-4.5
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福建厦门
厦门光刻胶 美国光刻胶
- 陀螺仪电极:制作50nm金电极阵列,台阶覆盖性≤10μm
- 压力传感器:支持Ni/Fe合金电镀,耐60MPa静水压
- TSV再布线:实现5μm厚铜柱的Lift-off工艺,解决电镀液渗透问题
- 2.5D/3D集成:用于硅中介层与芯片的微凸点制作
- 耐高温Lift-off:适用于GaN HEMT的T型栅极制作(栅长100nm)
- 双层胶工艺:作为底层胶与AZ 1500系列配合使用
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