制作超导量子电路约瑟夫森结(0.12μm精度) ▸ 耐受稀释制冷机低温环境(4K)
射频器件: ▸ AlGaAs/InGaAs HEMT的T型栅极(提升截止频率30%) ▸ BAW滤波器金电极剥离(Q值>2000)
硅光芯片: ▸ 光栅耦合器金反射镜制作(45°斜面结构) ▸ 表面粗糙度<2nm