LEJ 100W汞氙灯光源，无热漂移现象，光路重复精度优于0.1μm
LEJ深紫外照明系统是一款专为晶圆检测和光掩模分析设计的高稳定性紫外光源设备。该系统采用100W汞氙灯（HgXe lamps）作为光源，集成了点火装置和镇流器（ballast），通过低热漂移技术和稳定的直流电源供应，提供极其稳定的紫外辐射。集成化设计：LEJ深紫外汞氙灯光源的点火器直接集成在灯箱lh-qx-100.60内部，相比外置点火器具有更高的可靠性和更简洁的系统结构。精确触发时序：与镇流器ebqx 100-04配合，确保在*佳时机施加点火电压，延长LEJ 光纤耦合紫外UV光源使用寿命。多重保护机制：包含过压保护、短路保护等功能。
产品特点
-无热漂移现象
-可重复的机械调节
-灯箱内集成点火装置
-紧凑型灯箱设计
-安全电路功能
-运行时间计数器
深紫外照明系统：
LEJ深紫外照明系统（Deep UV illumination system）：这是整套设备的核心名称，采用特殊设计的光学系统，能够在深紫外波段提供稳定均匀的照明。LEJ深紫外照明系统特别适合微纳结构检测，其稳定性在同类产品中处于领先地位。深紫外照明系统的光谱特性如图所示。
图：无聚光元件的汞氙灯光谱
图：深紫外照明系统的紫外光谱
灯箱lh-qx-100.60（Lamp house lh-qx-100.60）：这是系统的核心组件之一，集成了光源和反射镜系统。灯箱lh-qx-100.60采用紧凑设计，尺寸仅为169x126x154mm，重量3.4kg。灯箱lh-qx-100.60具有可调节的灯座和反射镜，确保光路精确对准。灯箱lh-qx-100.60的安全性能符合EN 61010-1标准。
镇流器ebqx 100-04（Ballast ebqx 100-04）：这是为100W汞氙灯专门设计的电源控制单元。镇流器ebqx 100-04采用恒流工作模式，*大输出功率130W。镇流器ebqx 100-04具有完善的安全保护功能，包括过温保护等。镇流器ebqx 100-04的输入电压范围宽达90-264VAC，适应全球各地电网。
汞氙灯（HgXe lamps）：这是系统的光源核心，型号为HAMAMATSU L8029-01或L2422-01。汞氙灯在深紫外波段具有独特的发射特性，特别适合微细结构检测。汞氙灯的点火电压为16.5-20VDC，工作电流5.5±0.3A。汞氙灯通过专用灯座连接，确保稳定可靠的电气接触。
环形燕尾槽/法兰（Ring dovetail/Flange）：这是系统的机械接口部件，用于将灯箱安装到各种应用设备上。环形燕尾槽/法兰可根据客户需求定制，确保与不同设备的兼容性。环形燕尾槽/法兰的安装方式灵活，支持多种调整需求。环形燕尾槽/法兰是系统集成的重要组件。
技术参数表
灯箱 lh-qx-100.60:
| 安装方式 |
通过法兰或环形燕尾槽安装
灯座带x,y方向调节功能 |
| 点火器 |
集成高压点火器 |
| 反射镜 |
带x,y,z三轴调节的反射镜 |
| 收集器 |
带z轴调节 |
| 安全性 |
符合EN 61010-1标准 |
| 设备保护等级 |
I |
| 防护等级 |
IP 20(EN 60529) |
| 安全电路 |
开盖即断电 |
| 环境温度 |
0°C至+40°C |
| 尺寸(HxWxD) |
169x126x154mm |
| 重量 |
3.4 kg |
镇流器 ebqx 100-04:
| 功能 |
100W汞氙灯专用 |
| 适用灯型 |
HAMAMATSU L8029-01,L2422-01 |
| 灯连接器 |
M16+PE插座, Schaltbau |
| 安全性 |
安全电路, 过温保护 |
| 输入参数 |
输入参数 |
| 电源电压 |
90至264 VAC |
| 电源频率 |
47至63 Hz |
| 功耗 |
170 VA |
| 输出参数 |
输出参数 |
| 工作模式 |
恒流 |
| 功率 |
*大130W |
| 输出电流 |
5.5±0.3A |
| 开路电压 |
60±5VDC |
| 点火电压 |
16.5至20 VDC |
| 触发电压 |
外部点火器 |
| 尺寸(WxHxD) |
167x85x222mm |
| 重量 |
2.0kg |
订购信息
| 产品 |
货号 |
| 灯箱 lh-qx 100.60 ① |
0000013780 |
| 镇流器 ebqx 100-04 ② |
0000008708 |
| 环形燕尾槽/法兰 ③ |
根据客户/应用需求定制 |
| 收集器适配器 ④ |
根据客户/应用需求定制 |
| 灯 HAMAMATSU L8029/L2422 |
0000013812/0000018455 |
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