Innofocas微区薄膜测量仪采用亚毫米级的小光斑，膜厚测量仪测量用的光斑直径从5um到100um。波长范围覆盖可见光和近红外光（350~1000nm）以及短波红外光（1000~1700nm）。微区薄膜测量仪测量光谱分辨率可小至0.25nm，反射率测量的精度<0.05%。微区薄膜测量仪对于测量光斑的直径，可以提供5um，10um，50um，80um和100um进行选择。膜厚测量仪主要测量的是材料表面的反射率，镀膜的膜层厚度，以及被测材料的光学常数。

Innofocas单点膜厚仪对于膜厚的测量精度可以达到0.2nm，5um微区膜厚仪对于光学镜片的膜厚检测，表面涂层，以及半导体制造中各个方面都能有较好的使用效果。微点膜厚仪对单点区域的膜厚或者光学常数的测量时间非常快，5um微区膜厚仪整体的耗时小于0.1s，微区域膜厚仪可以测量的膜厚区域为15nm~100um。微区域膜厚仪自带的平台和位移微分头可以容纳100mm大小的样品。

Innofocas微区薄膜测量仪主要特点：
-膜厚测量仪可选350nm~1000nm和1000~1700nm测试波段。
-快速测量（小于0.1s）
-膜厚测量范围广（15nm~100um）


单点膜厚仪主要应用：
       -科研材料测量
       -非接触式薄膜测试
       -工业生产质量检测
       -特殊的科研检测应用

微点膜厚仪主要参数：
 

微点膜厚仪Micro-spot Optical Thin Film Analyzer
测量项目	反射率，膜层厚度及光学常数（n&k）
光斑尺寸	5/10/50/100um
膜厚范围	15nm~100um
测量精度	0.2nm
测量时间	单点测量时间小于0.1s
光谱范围	350~1000nm/1000nm~1700nm
样品尺寸	1mm~100mm
仪器重量	2.8kg
仪器尺寸	290×230×250mm

Innofocas单点膜厚仪对于目前很火的运用于锂电池中的薄膜测量，微点膜厚仪同样可以通过光学方式进行无接触测量。在保证了测试的安全性的同时加快了检测速度和检测参数的有效性。